Ураджайнасць чыпа ў вытворчасці чыпаў цесна звязана з памерамі і колькасцю паветраных часціц, нанесеных на чып. Добрая арганізацыя паветранага патоку можа браць часціцы, якія ўтвараюцца з крыніц пылу, ад чыстай памяшкання, і забяспечыць чысціню чыстай пакоя. Гэта значыць, арганізацыя паветранага патоку ў чыстай пакоі гуляе жыццёва важную ролю ў выхадзе вытворчасці чыпаў. Мэты, якія трэба дасягнуць у распрацоўцы арганізацыі паветранага патоку чыстага памяшкання, заключаюцца ў тым, каб паменшыць або выключыць віхравыя плыні ў полі патоку, каб пазбегнуць утрымання шкодных часціц; Для падтрымання адпаведнага градыенту станоўчага ціску для прадухілення перакрыжаванага забруджвання.
Згодна з прынцыпам чыстага памяшкання, сілы, якія дзейнічаюць на часціцы, ўключаюць масавую сілу, малекулярную сілу, прыцягненне паміж часціцамі, сілай паветранага патоку і г.д.
Сіла паветранага патоку: ставіцца да сілы паветранага патоку, выкліканай падачай і зваротным патокам, цеплавым патокам канвекцыі, штучным узрушанасцю і іншымі патокамі з пэўнай хуткасцю патоку для пераносу часціц. Для кантролю над навакольнымі тэхналогіямі чыстага памяшкання з'яўляецца найбольш важным фактарам сілы паветранага патоку.
Эксперыменты паказалі, што ў руху паветранага патоку часціцы ідуць па патоку амаль з той жа хуткасцю. Умова часціц у паветры вызначаецца размеркаваннем паветранага патоку. Асноўны эфект паветранага патоку на часціцы ў памяшканні ўключае: паветранае паток паветра (уключаючы першасны паветраны паток і другасны паветраны паток), паветраны паток і цеплавы паток канвекцыі, выкліканы людзьмі, якія ідуць, і ўплыў паветранага патоку на часціцы, выкліканыя аперацыямі працэсу і прамысловым абсталяваннем. Розныя метады падачы паветра, хуткасныя інтэрфейсы, аператары і прамысловае абсталяванне, выкліканыя з'явамі і г.д. у чыстых пакоях - усе фактары, якія ўплываюць на ўзровень чысціні.
1. Уплыў метаду падачы паветра
(1) Хуткасць падачы паветра
Для таго, каб забяспечыць раўнамерны паток паветра, хуткасць падачы паветра ў аднанакіраваным чыстым памяшканні павінна быць аднастайнай; Мёртвая зона на паверхні падачы паветра павінна быць невялікім; і падзенне ціску ў фільтры HEPA таксама павінна быць аднастайным.
Хуткасць падачы паветра аднастайная: гэта значыць няроўнасць паветранага патоку кантралюецца ў межах ± 20%.
На паверхні падачы паветра менш мёртвых месцаў: не толькі плоскасць рамы HEPA зніжаецца, але яшчэ важней, што модульны FFU павінен быць выкарыстаны для спрашчэння залішняй рамы.
Для таго, каб паток паветра быў вертыкальным і аднанакіраваным, выбар фільтра падзенне ціску таксама вельмі важны, і патрабуецца, каб страта ціску ў фільтры не можа быць прадузята.
(2) Параўнанне паміж сістэмай FFU і сістэмай вентылятараў восевага патоку
FFU - гэта блок падачы паветра з фільтрам вентылятара і HEPA. Паветра высмоктваецца цэнтрабежным вентылятарам ФФУ і пераўтварае дынамічны ціск у статычны ціск у паветраным пратоцы. Ён раўнамерна выдзімаецца фільтрам HEPA. Ціск падачы паветра на столь з'яўляецца адмоўным ціскам. Такім чынам, пры замене фільтра ні адзін пыл не прасочваецца ў чысты пакой. Эксперыменты паказалі, што сістэма FFU пераўзыходзіць сістэму вентылятараў восевага патоку з пункту гледжання раўнамернасці паветра, паралелізму паветра і індэкса эфектыўнасці вентыляцыі. Гэта таму, што паралелізм паветранага патоку сістэмы FFU лепш. Выкарыстанне сістэмы FFU можа палепшыць арганізацыю патоку паветра ў чыстым памяшканні.
(3) Уплыў уласнай структуры FFU
FFU у асноўным складаецца з вентылятараў, фільтраў, накіроўвалых паветраных патокаў і іншых кампанентаў. Фільтр HEPA - гэта самая важная гарантыя чыстага памяшкання для дасягнення неабходнай чысціні, неабходнай дызайну. Матэрыял фільтра таксама адаб'ецца на аднастайнасці поля патоку. Калі ў разетку дадаюць грубы фільтр або пласцінка патоку, поле патоку можна лёгка зрабіць раўнамерным.
2. Уплыў інтэрфейсу хуткасці з рознай чысцінёй
У тым жа чыстым памяшканні, паміж рабочай зонай і непрацуючым зонай з вертыкальным аднанакіраваным патокам, з-за розніцы ў хуткасці паветра ў скрынцы HEPA, на інтэрфейсе будзе адбывацца змешаны эфект віхуры, і гэты інтэрфейс стане бурным зона паветранага патоку. Інтэнсіўнасць турбулентнасці паветра асабліва моцная, і часціцы могуць перадавацца на паверхню машыны абсталявання і забруджваць абсталяванне і пласціны.
3. Уплыў на персанал і абсталяванне
Калі чысты пакой пусты, характарыстыкі паветранага патоку ў памяшканні звычайна адпавядаюць патрабаванням дызайну. Пасля таго, як абсталяванне трапляе ў чыстую залу, людзі перамяшчаюцца, а прадукты транспартуюцца, у арганізацыю паветранага патоку непазбежна ёсць перашкоды, напрыклад, рэзкія кропкі, якія выступаюць з машыны абсталявання. У кутах або краях газ адцягнецца, утвараючы бурную плошчу патоку, і вадкасць у раёне не будзе лёгка захавацца пры ўваходным газе, што выклікае забруджванне.
У той жа час паверхня механічнага абсталявання будзе награваецца з -за бесперапыннай працы, і градыент тэмпературы прывядзе да вобласці пакрыцця каля машыны, што павялічвае назапашванне часціц у вобласці рэфлоу. У той жа час высокая тэмпература лёгка прымусіць часціцы ўцякаць. Двайны эфект узмацняе агульны вертыкальны пласт. Цяжкасць кіравання чысцінёй патоку. Пыл ад аператараў у чыстым памяшканні можа лёгка прылягаць да пласцін у гэтых раёнах.
4. Уплыў зваротнага авіябарона
Калі супраціў зваротнага паветра, які праходзіць праз падлогу, будзе рознай, розніца ціску адбудзецца, што прывядзе да цячы паветра ў бок невялікага супраціву, і раўнамерны паток паветра не будзе атрыманы. Цяперашні папулярны метад дызайну заключаецца ў выкарыстанні падвышанага падлогі. Калі каэфіцыент адкрыцця падвышанага падлогі складае 10%, хуткасць патоку паветра можа быць раўнамерна размеркавана на працоўнай вышыні ў памяшканні. Акрамя таго, трэба звярнуць строгую ўвагу за ўборку, каб знізіць крыніцу забруджвання на падлозе.
5. Індукцыйная з'ява
Так званая індукцыйная з'ява ставіцца да з'явы генерацыі паветранага патоку ў зваротным кірунку да раўнамернага патоку, выклікаючы пыл, які ўтвараецца ў памяшканні або пылу ў суседніх забруджаных участках да бакавога ветру, што прымушае пыл для забруджвання пласціны. Магчымыя выкліканыя з'явы ўключаюць наступнае:
(1) Сляпая пласціна
У чыстым памяшканні з вертыкальным аднабаковым патокам, дзякуючы суставаў на сцяне, звычайна існуюць вялікія сляпыя панэлі, якія дадуць бурную паток і мясцовы зваротны паток.
(2) лямпы
Асвятленне ў чыстым памяшканні будзе мець большы ўплыў. Паколькі цяпло флуарэсцэнтнай лямпы прымушае павысіць паток паветра, флуарэсцэнтная лямпа не стане бурнай вобласцю. Звычайна лямпы ў чыстым памяшканні распрацаваны ў форме слёз, каб паменшыць уздзеянне лямпаў на арганізацыю паветранага патоку.
(3) прабелы паміж сценамі
Калі ёсць прабелы паміж сценкамі раздзелаў або столямі з рознымі патрабаваннямі да чысціні, пыл з раёнаў з нізкімі патрабаваннямі да чысціні можа быць перададзены ў суседнія раёны з высокімі патрабаваннямі да чысціні.
(4) адлегласць паміж механічным абсталяваннем і падлогай або сцяной
Калі разрыў паміж механічным абсталяваннем і падлогай ці сцяной невялікі, адбудзецца адскок. Таму пакіньце зазор паміж абсталяваннем і сцяной і падніміце машынную платформу, каб пазбегнуць непасрэднага кантакту з зямлёй.
Час публікацыі: лістапад-02-2023