Выхад чыпсу ў вытворчасці чыпсаў цесна звязаны з памерам і колькасцю часціц паветра, якія асядаюць на чыпсе. Добрая арганізацыя паветранага патоку можа адводзіць часціцы, якія ўтвараюцца з крыніц пылу, ад чыстага памяшкання і забяспечваць чысціню чыстага памяшкання. Гэта значыць, арганізацыя паветранага патоку ў чыстым памяшканні адыгрывае жыццёва важную ролю ў выхадзе вытворчасці чыпсу. Мэты, якія павінны быць дасягнуты пры праектаванні арганізацыі паветранага патоку ў чыстым памяшканні: паменшыць або ліквідаваць віхравыя токі ў полі патоку, каб пазбегнуць затрымкі шкодных часціц; падтрымліваць адпаведны станоўчы градыент ціску для прадухілення перакрыжаванага забруджвання.
Згодна з прынцыпам чыстага памяшкання, сілы, якія дзейнічаюць на часціцы, уключаюць сілу масы, малекулярную сілу, сілу прыцягнення паміж часціцамі, сілу паветранага патоку і г.д.
Сіла паветранага патоку: адносіцца да сілы паветранага патоку, выкліканай прыточным і зваротным паветрам, цеплавым канвекцыйным паветрам, штучным перамешваннем і іншымі паветранымі патокамі з пэўнай хуткасцю патоку для пераносу часціц. Для кантролю экалагічна чыстых памяшканняў сіла паветранага патоку з'яўляецца найважнейшым фактарам.
Эксперыменты паказалі, што пры руху паветранага патоку часціцы рухаюцца па ім практычна з аднолькавай хуткасцю. Стан часціц у паветры вызначаецца размеркаваннем паветранага патоку. Асноўныя ўздзеянні паветранага патоку на часціцы ў памяшканні ўключаюць: паток падачы паветра (у тым ліку першасны і другасны), паток паветра і цеплавы канвекцыйны паток, выкліканы хадой людзей, а таксама ўздзеянне паветранага патоку на часціцы, выкліканае тэхналагічнымі аперацыямі і прамысловым абсталяваннем. Розныя метады падачы паветра, хуткасныя інтэрфейсы, аператары і прамысловае абсталяванне, індукаваныя з'явы і г.д. у чыстых памяшканнях - усё гэта фактары, якія ўплываюць на ўзровень чысціні.
1. Уплыў спосабу падачы паветра
(1) Хуткасць падачы паветра
Каб забяспечыць раўнамерны паток паветра, хуткасць падачы паветра ў чыстым памяшканні з аднанакіраваным патокам павінна быць раўнамернай; мёртвая зона на паверхні падачы паветра павінна быць невялікай; і перапад ціску ўнутры HEPA-фільтра таксама павінен быць раўнамерным.
Хуткасць падачы паветра раўнамерная: гэта значыць, нераўнамернасць паветранага патоку кантралюецца ў межах ±20%.
На паверхні падачы паветра менш мёртвай прасторы: варта не толькі паменшыць плошчу плоскасці рамы HEPA, але, што больш важна, выкарыстоўваць модульную FFU для спрашчэння рэзервовай рамы.
Каб забяспечыць вертыкальны і аднанакіраваны паток паветра, вельмі важны выбар фільтра, які дазваляе кантраляваць перапад ціску, і неабходна, каб страта ціску ўнутры фільтра не магла быць зрушаная.
(2) Параўнанне сістэмы FFU і сістэмы восевага вентылятара
FFU — гэта падачная ўстаноўка з вентылятарам і HEPA-фільтрам. Паветра ўсмоктваецца цэнтрабежным вентылятарам FFU і пераўтварае дынамічны ціск у статычны ціск у паветраводы. Яно раўнамерна выдзімаецца HEPA-фільтрам. Ціск падачы паветра на столь з'яўляецца адмоўным. Такім чынам, пры замене фільтра пыл не будзе прасочвацца ў чыстае памяшканне. Эксперыменты паказалі, што сістэма FFU пераўзыходзіць сістэму восевых вентылятараў з пункту гледжання раўнамернасці выхаду паветра, паралельнасці паветраных патокаў і паказчыка эфектыўнасці вентыляцыі. Гэта звязана з тым, што паралельнасць паветраных патокаў сістэмы FFU лепшая. Выкарыстанне сістэмы FFU можа палепшыць арганізацыю паветраных патокаў у чыстым памяшканні.
(3) Уплыў уласнай структуры ФФУ
FFU ў асноўным складаецца з вентылятараў, фільтраў, накіроўвальнікаў паветранага патоку і іншых кампанентаў. HEPA-фільтр з'яўляецца найважнейшай гарантыяй чысціні памяшкання для дасягнення неабходнай чысціні, прадугледжанай канструкцыяй. Матэрыял фільтра таксама ўплывае на аднастайнасць поля патоку. Калі да выхаду фільтра дадаць шурпаты фільтруючы матэрыял або пласціну для патоку, поле патоку на выхадзе можна лёгка зрабіць аднастайным.
2. Уплыў хуткасці інтэрфейсу з рознай чысцінёй
У тым жа чыстым памяшканні, паміж рабочай зонай і нерабочай зонай з вертыкальным аднанакіраваным патокам, з-за розніцы ў хуткасці паветра каля HEPA-блока на мяжы падзелу ўзнікне змешаны віхравы эфект, і гэтая мяжа стане зонай турбулентнага паветранага патоку. Інтэнсіўнасць турбулентнасці паветра асабліва высокая, і часціцы могуць перадавацца на паверхню абсталявання і забруджваць яго і пласціны.
3. Уплыў на персанал і абсталяванне
Калі чыстае памяшканне пустое, характарыстыкі паветранага патоку ў ім звычайна адпавядаюць праектным патрабаванням. Пасля таго, як абсталяванне трапляе ў чыстае памяшканне, людзі рухаюцца і прадукты перамяшчаюцца, непазбежна ўзнікаюць перашкоды для арганізацыі паветранага патоку, такія як вострыя кончыкі, якія выступаюць з абсталявання. У кутах або на краях газ будзе адхіляцца, утвараючы зону турбулентнага патоку, і вадкасць у гэтай зоне не будзе лёгка выносіць уваходны газ, што прывядзе да забруджвання.
Адначасова паверхня механічнага абсталявання будзе награвацца з-за бесперапыннай працы, і градыент тэмператур прывядзе да ўтварэння зоны аплаўлення паблізу машыны, што павялічвае назапашванне часціц у зоне аплаўлення. У той жа час высокая тэмпература лёгка прывядзе да ўцёкаў часціц. Двайны эфект узмацняе агульны вертыкальны пласт. Цяжкасці кантролю чысціні патоку. Пыл ад аператараў у чыстым памяшканні можа лёгка прыліпаць да пласцін у гэтых зонах аплаўлення.
4. Уплыў зваротнага паветранага патоку падлогі
Калі супраціўленне зваротнага паветра, якое праходзіць праз падлогу, адрозніваецца, узнікае розніца ціску, у выніку чаго паветра будзе цячы ў напрамку малога супраціву, і раўнамерны паток паветра не будзе дасягнуты. Папулярным сучасным метадам праектавання з'яўляецца выкарыстанне паднятай падлогі. Калі каэфіцыент адкрыцця паднятай падлогі складае 10%, хуткасць паветранага патоку можа быць раўнамерна размеркавана на вышыні працы ў памяшканні. Акрамя таго, неабходна надаць пільную ўвагу ўборцы, каб паменшыць крыніцу забруджвання на падлозе.
5. З'ява індукцыі
Так званая індукцыйная з'ява адносіцца да з'явы генерацыі паветранага патоку ў кірунку, процілеглым аднастайнаму патоку, што прыводзіць да ўтварэння пылу ў памяшканні або пылу ў прылеглых забруджаных зонах з наветранага боку, тым самым прыводзячы да забруджвання пласціны пылам. Магчымыя індукаваныя з'явы ўключаюць наступнае:
(1) Глухая пласціна
У чыстым памяшканні з вертыкальным аднабаковым патокам, з-за стыкаў на сцяне, звычайна маюцца вялікія глухія панэлі, якія ствараюць турбулентны паток і лакальны зваротны паток.
(2) Лямпы
Асвятляльныя прыборы ў чыстых памяшканнях будуць мець большы ўплыў. Паколькі цяпло люмінесцэнтнай лямпы прымушае паветраны паток уздымацца, люмінесцэнтная лямпа не будзе ствараць турбулентнасці. Як правіла, лямпы ў чыстых памяшканнях маюць форму кроплі, каб паменшыць уплыў лямпаў на арганізацыю паветранага патоку.
(3) Шчыліны паміж сценамі
Калі паміж перагародкамі або столямі з рознымі патрабаваннямі да чысціні ёсць шчыліны, пыл з зон з нізкімі патрабаваннямі да чысціні можа пераносіцца ў суседнія зоны з высокімі патрабаваннямі да чысціні.
(4) Адлегласць паміж механічным абсталяваннем і падлогай або сцяной
Калі зазор паміж механічным абсталяваннем і падлогай або сцяной невялікі, узнікне турбулентнасць адскоку. Таму пакіньце зазор паміж абсталяваннем і сцяной і падніміце платформу машыны, каб пазбегнуць непасрэднага кантакту з зямлёй.
Час публікацыі: 02 лістапада 2023 г.