Выхад чыпаў у прамысловасці па вытворчасці чыпаў цесна звязаны з памерам і колькасцю часціц паветра, асаджаных на чыпе. Добрая арганізацыя паветранага патоку можа адводзіць часціцы, якія ўтвараюцца з крыніц пылу, з чыстага памяшкання і забяспечваць чысціню чыстага памяшкання. Гэта значыць арганізацыя паветранага патоку ў чыстых памяшканнях гуляе жыццёва важную ролю ў прыбытковасці вытворчасці чыпсаў. Мэты, якія павінны быць дасягнуты пры распрацоўцы арганізацыі паветранага патоку ў чыстым памяшканні: паменшыць або ліквідаваць віхравыя токі ў полі патоку, каб пазбегнуць затрымкі шкодных часціц; для падтрымання адпаведнага станоўчага градыенту ціску для прадухілення перакрыжаванага забруджвання.
Згодна з прынцыпам чыстага памяшкання, сілы, якія дзейнічаюць на часціцы, ўключаюць сілу масы, малекулярную сілу, прыцягненне паміж часціцамі, сілу патоку паветра і г.д.
Сіла паветранага патоку: адносіцца да сілы паветранага патоку, выкліканага прыточным і зваротным патокам паветра, патокам цеплавой канвекцыі, штучным узбуджаннем і іншымі патокамі паветра з пэўнай хуткасцю для пераносу часціц. Для кантролю навакольнага асяроддзя ў чыстых памяшканнях сіла паветранага патоку з'яўляецца найбольш важным фактарам.
Эксперыменты паказалі, што пры руху паветранага патоку часціцы ідуць за паветраным патокам амаль з аднолькавай хуткасцю. Стан часціц у паветры вызначаецца размеркаваннем паветранага патоку. Да асноўных уздзеянняў паветранага патоку на часціцы ў памяшканні адносяцца: паветраны паток падачы паветра (уключаючы першасны і другасны паветраны паток), паветраны паток і цеплавая канвекцыя, выкліканыя хадой людзей, а таксама ўздзеянне паветранага патоку на часціцы, выкліканае працэсамі і прамысловым абсталяваннем. Розныя метады падачы паветра, хуткасныя інтэрфейсы, аператары і прамысловае абсталяванне, выкліканыя з'явы і г.д. у чыстых памяшканнях - усё гэта фактары, якія ўплываюць на ўзровень чысціні.
1. Уплыў спосабу падачы паветра
(1) Хуткасць падачы паветра
Для забеспячэння раўнамернага патоку паветра хуткасць падачы паветра ў аднанакіраваным патоку чыстага памяшкання павінна быць раўнамернай; мёртвая зона на паверхні падачы паветра павінна быць невялікай; і падзенне ціску ўнутры фільтра hepa таксама павінна быць раўнамерным.
Хуткасць падачы паветра раўнамерная: гэта значыць нераўнамернасць паветранага патоку кантралюецца ў межах ±20%.
На паверхні падачы паветра застаецца менш мёртвай прасторы: трэба не толькі паменшыць плоскую плошчу рамы hepa, але, што больш важна, для спрашчэння лішняй рамы трэба выкарыстоўваць модульную FFU.
Для забеспячэння вертыкальнага і аднанакіраванага паветранага патоку выбар перападу ціску на фільтры таксама вельмі важны, і неабходна, каб страты ціску ўнутры фільтра не былі зрушанымі.
(2) Параўнанне паміж сістэмай FFU і сістэмай восевага вентылятара
FFU - гэта прытокавы блок з вентылятарам і гепа-фільтрам. Паветра ўсмоктваецца цэнтрабежным вентылятарам FFU і ператварае дынамічны ціск у статычны ціск у паветраводзе. Ён раўнамерна выдзімаецца гепа-фільтрам. Ціск падачы паветра на столь з'яўляецца адмоўным ціскам. Такім чынам пры замене фільтра пыл не будзе трапляць у чыстае памяшканне. Эксперыменты паказалі, што сістэма FFU пераўзыходзіць сістэму восевага вентылятара па раўнамернасці выхаду паветра, паралельнасці паветраных патокаў і паказчыку эфектыўнасці вентыляцыі. Гэта таму, што паралелізм паветранага патоку сістэмы FFU лепш. Выкарыстанне сістэмы FFU дазваляе палепшыць арганізацыю паветранага патоку ў чыстым памяшканні.
(3) Уплыў уласнай структуры ФФУ
FFU ў асноўным складаецца з вентылятараў, фільтраў, накіроўвалых паветранага патоку і іншых кампанентаў. Hepa-фільтр з'яўляецца найважнейшай гарантыяй чыстага памяшкання для дасягнення неабходнай чысціні, патрабаванай канструкцыяй. Матэрыял фільтра таксама будзе ўплываць на аднастайнасць поля патоку. Калі да выхаду фільтра дадаецца грубы фільтруючы матэрыял або пласціна для патоку, поле патоку на выхадзе можна лёгка зрабіць аднастайным.
2. Уплыў інтэрфейсу хуткасці з рознай чысцінёй
У тым самым чыстым памяшканні, паміж рабочай зонай і непрацоўнай зонай з вертыкальным аднанакіраваным патокам, з-за розніцы ў хуткасці паветра ў скрынцы гепа, на мяжы падзелу будзе адбывацца змешаны віхравы эфект, і гэты інтэрфейс стане турбулентным зона паветранага патоку. Інтэнсіўнасць турбулентнасці паветра асабліва моцная, і часціцы могуць пераносіцца на паверхню машыннага абсталявання і забруджваць абсталяванне і пласціны.
3. Уздзеянне на персанал і абсталяванне
Калі чыстае памяшканне пустое, характарыстыкі паветранага патоку ў пакоі звычайна адпавядаюць праектным патрабаванням. Калі абсталяванне трапляе ў чыстыя памяшканні, людзі перамяшчаюцца і прадукты транспартуюцца, непазбежна ўзнікаюць перашкоды для арганізацыі паветранага патоку, напрыклад, вострыя кропкі, якія выступаюць з машыны абсталявання. Па кутах або краях газ будзе адхіляцца, утвараючы зону турбулентнага патоку, і вадкасць у гэтай вобласці не будзе лёгка выносіцца ўваходным газам, выклікаючы такім чынам забруджванне.
У той жа час паверхня механічнага абсталявання будзе награвацца з-за бесперапыннай працы, а градыент тэмпературы выкліча вобласць аплаўлення каля машыны, што павялічвае назапашванне часціц у зоне аплаўлення. У той жа час высокая тэмпература лёгка прывядзе да выхаду часціц. Двайны эфект узмацняе агульны вертыкальны пласт. Складанасць кантролю за чысцінёй ручая. Пыл ад аператараў у чыстым памяшканні можа лёгка прыліпаць да пласцін у гэтых зонах аплаўлення.
4. Уплыў падлогі зваротнага паветра
Калі супраціў зваротнага паветра, якое праходзіць праз падлогу, адрозніваецца, узнікне розніца ціску, у выніку чаго паветра будзе цячы ў напрамку малога супраціву, і раўнамерны паток паветра не атрымаецца. Папулярным у цяперашні час метадам афармлення з'яўляецца выкарыстанне ўзвышша. Калі каэфіцыент адкрыцця падлогі складае 10%, хуткасць паветранага патоку можа быць раўнамерна размеркавана па працоўнай вышыні ў памяшканні. Акрамя таго, строгая ўвага павінна быць нададзена працы па ўборцы, каб паменшыць крыніца забруджвання на падлозе.
5. З'ява індукцыі
Так званая з'ява індукцыі адносіцца да з'явы генерацыі паветранага патоку ў кірунку, процілеглым раўнамернаму патоку, у выніку чаго пыл, які ўтвараецца ў памяшканні, або пыл у прылеглых забруджаных зонах, накіроўваецца ў наветраны бок, у выніку чаго пыл забруджвае пласціну. Магчымыя выкліканыя з'явы ўключаюць наступнае:
(1) Сляпая пласціна
У чыстым памяшканні з вертыкальным аднабаковым патокам, з-за стыкаў на сцяне, як правіла, ёсць вялікія жалюзі, якія ствараюць турбулентны паток і мясцовы зваротны паток.
(2) Лямпы
Асвятляльныя прыборы ў чыстым памяшканні будуць мець большы эфект. Паколькі цяпло люмінесцэнтнай лямпы выклікае паток паветра ўверх, люмінесцэнтная лямпа не стане турбулентнай зонай. Як правіла, лямпы ў чыстых памяшканнях маюць форму кроплі, каб паменшыць уплыў лямпаў на арганізацыю паветранага патоку.
(3) Шчыліны паміж сценамі
Калі паміж перагародкамі або столлю ёсць шчыліны з рознымі патрабаваннямі да чысціні, пыл з памяшканняў з нізкімі патрабаваннямі да чысціні можа пераносіцца ў суседнія зоны з высокімі патрабаваннямі да чысціні.
(4) Адлегласць паміж механічным абсталяваннем і падлогай або сцяной
Калі зазор паміж механічным абсталяваннем і падлогай або сцяной невялікі, узнікне турбулентнасць адскоку. Таму пакіньце зазор паміж абсталяваннем і сцяной і падніміце платформу машыны, каб пазбегнуць прамога кантакту з зямлёй.
Час публікацыі: 2 лістапада 2023 г