Хуткасць ураджайнасці чыпа ў вытворчай прамысловасці ІС цесна звязана з памерамі і колькасцю паветраных часціц, якія адкладаюцца на чып. Добрая арганізацыя паветранага патоку можа забраць часціцы, згенераваныя крыніцай пылу, ад чыстай памяшкання, каб забяспечыць чысціню чыстага памяшкання, гэта значыць арганізацыя паветранага патоку ў чыстым памяшканні гуляе жыццёва важную ролю ў хуткасці ўраджаю вытворчасці ІС. Дызайн арганізацыі паветранага патоку ў чыстым памяшканні павінен дасягнуць наступных мэтаў: паменшыць або выключыць віхравы ток у полі патоку, каб пазбегнуць утрымання шкодных часціц; Падтрымлівайце адпаведны градыент станоўчага ціску, каб пазбегнуць перакрыжаванага забруджвання.
Сіла паветранага патоку
Згодна з прынцыпам чыстага памяшкання, сілы, якія дзейнічаюць на часціцы, ўключаюць масавую сілу, малекулярную сілу, прыцягненне паміж часціцамі, сіла паветранага патоку і г.д.
Сіла паветранага патоку: ставіцца да сілы паветранага патоку, выкліканай дастаўкай, зваротным патокам паветра, цеплавым патокам канвекцыі, штучным памешваннем і іншым паветраным патокам з пэўнай хуткасцю патоку для пераносу часціц. Для тэхнічнага кантролю над асяроддзем чыстага памяшкання сіла паветранага патоку з'яўляецца найбольш важным фактарам.
Эксперыменты паказалі, што ў руху паветранага патоку часціцы ідуць за рухам паветранага патоку практычна з той жа хуткасцю. Стан часціц у паветры вызначаецца размеркаваннем паветранага патоку. Паветраныя патокі, якія ўплываюць на часціцы ў памяшканні, у асноўным ўключаюць: паветраны паток паветра (уключаючы першасны паветраны паток і другасны паветраны паток), паветранага патоку і цеплавога патоку канвекцыі, выкліканага людзьмі, якія ідуць, і паветраны паток, выкліканы аперацыяй працэсу і прамысловым абсталяваннем. Розныя метады пастаўкі паветра, хуткасныя інтэрфейсы, аператары і прамысловае абсталяванне і выкліканыя з'явы ў чыстых памяшканнях - усе фактары, якія ўплываюць на ўзровень чысціні.
Фактары, якія ўплываюць на арганізацыю паветранага патоку
1. Уплыў метаду падачы паветра
(1). Хуткасць падачы паветра
Для забеспячэння раўнамернага паветранага патоку хуткасць падачы паветра павінна быць аднастайнай у аднанакіраваным чыстым памяшканні; Мёртвая зона паверхні падачы паветра павінна быць невялікай; і падзенне ціску ў ULPA таксама павінна быць аднастайным.
Раўнамерная хуткасць падачы паветра: гэта значыць няроўнасць паветранага патоку кантралюецца ў межах ± 20%.
Менш загінулая зона на паверхні падачы паветра: не толькі плоскасць рамы ULPA зніжаецца, але, што яшчэ важней, для спрашчэння залішняй рамы павінна быць прынята модульная FFU.
Для забеспячэння вертыкальнага аднанакіраванага паветранага патоку выбар фільтра таксама вельмі важны, што патрабуе, каб страта ціску ў фільтры не змагла адхіліцца.
(2). Параўнанне паміж сістэмай FFU і сістэмай вентылятараў восевага патоку
FFU - гэта блок падачы паветра з вентылятарам і фільтрам (ULPA). Пасля таго, як паветра ўсмоктвае цэнтрабежны вентылятар FFU, дынамічны ціск пераўтвараецца ў статычны ціск у паветраным пратоцы і раўнамерна выдзімаецца ULPA. Ціск падачы паветра на столь з'яўляецца адмоўным ціскам, так што, калі фільтр замяніць фільтр, не будзе прасочвацца ў чыстым памяшканні. Эксперыменты паказалі, што сістэма FFU пераўзыходзіць сістэму вентылятараў восевага патоку з пункту гледжання раўнамернасці паветра, паралелізму паветранага патоку і індэкса эфектыўнасці вентыляцыі. Гэта таму, што паралелізм паветранага патоку сістэмы FFU лепш. Выкарыстанне сістэмы FFU можа зрабіць паветраны паток у чыстым памяшканні лепш арганізаваным.
(3). Уплыў уласнай структуры FFU
FFU у асноўным складаецца з вентылятараў, фільтраў, прылад кіраўніцтва паветранага патоку і іншых кампанентаў. Ультравысокая эфектыўнасць фільтра ULPA з'яўляецца самай важнай гарантыяй таго, ці можа чыстая памяшканне дасягнуць неабходнай чысціні дызайну. Матэрыял фільтра таксама адаб'ецца на аднастайнасці поля патоку. Калі ў выхад фільтра дадаецца грубы матэрыял фільтра або пласцінка ламінарнага патоку, поле патоку выхаду можна лёгка зрабіць раўнамерным.
2. Уплыў розных хуткасных інтэрфейсаў чысціні
У тым жа чыстым памяшканні, паміж рабочай зонай і непрацуючым вертыкальным аднанакіраваным патокам, з-за розніцы ў хуткасці паветра ў выхадзе ULPA, на інтэрфейсе будзе створаны змешаны эфект віхуры, і гэты інтэрфейс стане турбулентным Зона патоку паветра з асабліва высокай інтэнсіўнасцю турбулентнасці паветра. Часціцы могуць перадавацца на паверхню абсталявання і забруджваць абсталяванне і пласціны.
3. Уплыў персаналу і абсталявання
Калі чысты пакой пусты, характарыстыкі паветранага патоку ў памяшканні звычайна адпавядаюць патрабаванням дызайну. Пасля таго, як абсталяванне ўвойдзе ў чыстую залу, перадача персаналу і перадача прадуктаў, непазбежна будуць перашкоды ў арганізацыі паветранага патоку. Напрыклад, у выступоўцаў кутах або краях абсталявання газ будзе адцягнуты, утвараючы турбулентную зону, а вадкасць у зоне не лёгка захаваецца газам, што выклікае забруджванне. У той жа час паверхня абсталявання награваецца з -за бесперапыннай працы, і градыент тэмпературы прывядзе да зоны рэфлета каля машыны, што павялічыць назапашванне часціц у зоне рэфлета. У той жа час высокая тэмпература лёгка прымусіць часціцы ўцякаць. Двайны эфект пагаршае цяжкасць кантролю за агульнай вертыкальнай ламінарнай чысцінёй. Пыл ад аператараў у чыстым пакоі вельмі лёгка прыляпіць да пласцін у гэтых рэфлетавых зонах.
4. Уплыў зваротнага авіябарона
Калі супраціў зваротнага паветра, які праходзіць праз падлогу, будзе выраблена розніца ціску, так што паветра будзе паступаць у кірунку меншага супраціву, і раўнамерны паветраны паток не будзе атрыманы. Цяперашні папулярны метад дызайну заключаецца ў выкарыстанні падвышаных падлог. Калі хуткасць адкрыцця паднятых падлогі складае 10%, хуткасць паветранага патоку ў працоўнай вышыні памяшкання можа быць раўнамерна размеркавана. Акрамя таго, трэба звярнуць строгую ўвагу за ўборку, каб знізіць крыніцу забруджвання падлогі.
5. Індукцыйная з'ява
Так званая індукцыйная з'ява ставіцца да з'явы, што паток паветра ў зваротным кірунку раўнамернага патоку ўтвараецца, а пыл, які ўтвараецца ў памяшканні або пыл у суседнім забруджаным участку можа заразіць чып. Ніжэй прыведзены магчымыя з'явы індукцыі:
(1). Сляпая талерка
У чыстым памяшканні з вертыкальным аднанакіраваным патокам, дзякуючы суставаў на сцяне, звычайна існуюць вялікія сляпыя пласціны, якія ствараюць турбулентнасць у мясцовым зваротным патоку.
(2). Лямпы
Асвятленне свяцільні ў чыстым памяшканні будзе мець большы ўплыў. Паколькі цяпло флуарэсцэнтных лямпаў прыводзіць да ўздыму паветранага патоку, пад флуарэсцэнтнымі лямпамі не будзе турбулентнай вобласці. Звычайна лямпы ў чыстым памяшканні распрацаваны ў форме сляза, каб паменшыць уздзеянне лямпаў на арганізацыю паветранага патоку.
(3.) Прабелы паміж сценамі
Калі існуюць прабелы паміж раздзеламі з рознымі ўзроўнямі чысціні альбо паміж перагародкамі і столямі, пыл з вобласці з нізкімі патрабаваннямі да чысціні можа быць перададзены ў суседнюю вобласць з высокімі патрабаваннямі да чысціні.
(4). Адлегласць паміж машынай і падлогай ці сцяной
Калі зазор паміж машынай і падлогай ці сцяной вельмі невялікі, гэта выкліча адскоквае турбулентнасць. Такім чынам, пакіньце зазор паміж абсталяваннем і сцяной і падніміце машыну, каб не дапусціць, каб машына дакраналася да зямлі непасрэдна.
Час паведамлення: люты-05-2025