Ахова навакольнага асяроддзя надаецца ўсё больш увагі, асабліва з павелічэннем туманнага надвор'я. Стварэнне чыстых памяшканняў - адна з мер аховы навакольнага асяроддзя. Як выкарыстоўваць тэхніку чыстых памяшканняў для добрай працы па ахове навакольнага асяроддзя? Пагаворым аб кантролі ў тэхніцы чыстых памяшканняў.
Кантроль тэмпературы і вільготнасці ў чыстым памяшканні
Тэмпература і вільготнасць чыстых памяшканняў у асноўным вызначаюцца ў залежнасці ад патрабаванняў працэсу, але пры выкананні патрабаванняў працэсу неабходна ўлічваць камфорт чалавека. З павышэннем патрабаванняў да чысціні паветра назіраецца тэндэнцыя ўзмацнення патрабаванняў да тэмпературы і вільготнасці ў працэсе.
Як правіла, з-за павышэння дакладнасці апрацоўкі патрабаванні да дыяпазону ваганняў тэмпературы становяцца ўсё меншымі і меншымі. Напрыклад, у працэсе літаграфіі і экспазіцыі буйнамаштабнай вытворчасці інтэгральных схем розніца ў каэфіцыенце цеплавога пашырэння паміж шклянымі і крамянёвымі пласцінамі, якія выкарыстоўваюцца ў якасці маскі, становіцца ўсё меншай.
Крамянёвая пласціна дыяметрам 100 мкм выклікае лінейнае пашырэнне 0,24 мкм пры павышэнні тэмпературы на 1 градус. Такім чынам, неабходна пастаянная тэмпература ± 0,1 ℃, а значэнне вільготнасці звычайна нізкае, таму што пасля потаадлучэння прадукт будзе забруджаны, асабліва ў паўправадніковых майстэрнях, якія баяцца натрыю. Тэмпература гэтага тыпу майстэрні не павінна перавышаць 25 ℃.
Залішняя вільготнасць выклікае больш праблем. Калі адносная вільготнасць перавышае 55%, на сценцы трубы астуджальнай вады ўтворыцца кандэнсат. Калі гэта адбываецца ў дакладных прыладах або схемах, гэта можа выклікаць розныя аварыі. Пры адноснай вільготнасці 50% лёгка іржавее. Акрамя таго, калі вільготнасць занадта высокая, пыл, які прыліп да паверхні крэмніевай пласціны, будзе хімічна адсарбаваны на паверхні праз малекулы вады ў паветры, якія цяжка выдаліць.
Чым вышэй адносная вільготнасць, тым цяжэй выдаліць адгезію. Аднак, калі адносная вільготнасць ніжэй за 30%, часціцы таксама лёгка адсарбуюцца на паверхні з-за дзеяння электрастатычнай сілы, і вялікая колькасць паўправадніковых прыбораў схільныя да паломкі. Аптымальны дыяпазон тэмператур для вытворчасці крамянёвых пласцін - 35-45%.
Ціск паветракантрольу чыстым пакоі
Для большасці чыстых памяшканняў, каб прадухіліць пранікненне вонкавага забруджвання, неабходна падтрымліваць унутраны ціск (статычны ціск) вышэй, чым знешні (статычны ціск). Падтрыманне перападу ціску ў цэлым павінна адпавядаць наступным прынцыпам:
1. Ціск у чыстых памяшканнях павінен быць вышэй, чым у нечыстых.
2. Ціск у памяшканнях з высокім узроўнем чысціні павінен быць вышэй, чым у сумежных памяшканнях з нізкім узроўнем чысціні.
3. Дзверы паміж чыстымі памяшканнямі павінны адчыняцца ў бок памяшканняў з высокім узроўнем чысціні.
Падтрыманне розніцы ціскаў залежыць ад колькасці свежага паветра, якое павінна быць у стане кампенсаваць уцечку паветра з зазору пры гэтай розніцы ціскаў. Такім чынам, фізічны сэнс розніцы ціску - гэта супраціў уцечцы (або пранікненню) патоку паветра праз розныя шчыліны ў чыстым памяшканні.
Час публікацыі: 21 ліпеня 2023 г