Ахова навакольнага асяроддзя атрымлівае ўсё большую ўвагу, асабліва з павелічэннем колькасці імглы. Інжынерыя чыстых памяшканняў — адна з мер аховы навакольнага асяроддзя. Як выкарыстоўваць інжынерыю чыстых памяшканняў для эфектыўнай працы ў галіне аховы навакольнага асяроддзя? Давайце пагаворым аб кантролі ў інжынерыі чыстых памяшканняў.
Кантроль тэмпературы і вільготнасці ў чыстым памяшканні
Тэмпература і вільготнасць чыстых памяшканняў у асноўным вызначаюцца зыходзячы з патрабаванняў працэсу, але пры выкананні патрабаванняў працэсу неабходна ўлічваць камфорт чалавека. З паляпшэннем патрабаванняў да чысціні паветра назіраецца тэндэнцыя да больш жорсткіх патрабаванняў да тэмпературы і вільготнасці ў працэсе.
Як правіла, з-за павышэння дакладнасці апрацоўкі патрабаванні да дыяпазону ваганняў тэмпературы становяцца ўсё меншымі і меншымі. Напрыклад, у працэсе літаграфіі і экспанавання пры вытворчасці буйных інтэгральных схем розніца ў каэфіцыенце цеплавога пашырэння паміж шклянымі і крэмніевымі пласцінамі, якія выкарыстоўваюцца ў якасці матэрыялаў для масак, становіцца ўсё меншай.
Крэмніевая пласціна дыяметрам 100 мкм пры павышэнні тэмпературы на 1 градус выклікае лінейнае пашырэнне 0,24 мкм. Таму неабходна падтрымліваць пастаянную тэмпературу ± 0,1 ℃, а вільготнасць звычайна нізкая, бо пасля выпаццевання выраб будзе забруджвацца, асабліва ў паўправадніковых майстэрнях, якія баяцца натрыю. Тэмпература ў такіх майстэрнях не павінна перавышаць 25 ℃.
Залішняя вільготнасць стварае дадатковыя праблемы. Калі адносная вільготнасць перавышае 55%, на сценках трубы астуджальнай вады ўтвараецца кандэнсат. Гэта можа прывесці да розных няшчасных выпадкаў у дакладных прыладах або схемах. Пры адноснай вільготнасці 50% лёгка іржавее. Акрамя таго, калі вільготнасць занадта высокая, пыл, які прыліпае да паверхні крэмніевай пласціны, будзе хімічна адсарбаваны на яе паверхні праз малекулы вады ў паветры, якія цяжка выдаліць.
Чым вышэйшая адносная вільготнасць, тым цяжэй выдаліць адгезію. Аднак, калі адносная вільготнасць ніжэйшая за 30%, часціцы таксама лёгка адсарбуюцца на паверхні з-за дзеяння электрастатычнай сілы, і вялікая колькасць паўправадніковых прылад схільная да паломкі. Аптымальны дыяпазон тэмператур для вытворчасці крэмніевых пласцін складае 35-45%.
Ціск паветракантрольу чыстым пакоі
У большасці чыстых памяшканняў, каб прадухіліць пранікненне знешняга забруджвання, неабходна падтрымліваць унутраны ціск (статычны ціск) вышэйшым за знешні ціск (статычны ціск). Падтрыманне розніцы ціскаў павінна, як правіла, адпавядаць наступным прынцыпам:
1. Ціск у чыстых памяшканнях павінен быць вышэйшым, чым у нечыстых памяшканнях.
2. Ціск у памяшканнях з высокім узроўнем чысціні павінен быць вышэйшым, чым у суседніх памяшканнях з нізкім узроўнем чысціні.
3. Дзверы паміж чыстымі памяшканнямі павінны адчыняцца ў бок памяшканняў з высокім узроўнем чысціні.
Падтрыманне розніцы ціскаў залежыць ад колькасці свежага паветра, якое павінна кампенсаваць уцечку паветра з шчыліны пры гэтай розніцы ціскаў. Такім чынам, фізічны сэнс розніцы ціскаў — гэта супраціўленне ўцечцы (або інфільтрацыі) паветранага патоку праз розныя шчыліны ў чыстым памяшканні.
Час публікацыі: 21 ліпеня 2023 г.