Абарона навакольнага асяроддзя надаецца ўсё больш увагі, асабліва з павелічэннем смутку. Чыстая машынабудаванне - адна з мер па ахове навакольнага асяроддзя. Як выкарыстоўваць чыстую інжынерыю, каб зрабіць добрую працу ў галіне аховы навакольнага асяроддзя? Давайце пагаворым пра кантроль у чыстай інжынерыі.
Кантроль тэмпературы і вільготнасці ў чыстым памяшканні
Тэмпература і вільготнасць чыстых прастор у асноўным вызначаюцца на аснове патрабаванняў да працэсу, але пры выкананні патрабаванняў да працэсу выканання варта ўлічваць камфорт чалавека. З паляпшэннем патрабаванняў чысціні паветра існуе тэндэнцыя больш жорсткіх патрабаванняў да тэмпературы і вільготнасці ў працэсе.
Як агульны прынцып, з -за павелічэння дакладнасці апрацоўкі, патрабаванні да дыяпазону ваганняў тэмпературы становяцца ўсё менш і меншымі. Напрыклад, у працэсе літаграфіі і ўздзеяння маштабнай інтэграванай вытворчасці схемы розніца ў каэфіцыенце цеплавога пашырэння паміж шклом і крэмніевымі пласцінкамі, якія выкарыстоўваюцца ў якасці маскавых матэрыялаў, становіцца ўсё больш невялікім.
Крэмнійная пласціна дыяметрам 100 мкм выклікае лінейнае пашырэнне 0,24 мкм, калі тэмпература павышаецца на 1 градус. Такім чынам, неабходная пастаянная тэмпература ± 0,1 ℃, і значэнне вільготнасці звычайна нізкае, таму што пасля потаадлучэння прадукт будзе забруджаны, асабліва ў паўправадніковых семінарах, якія баяцца натрыю. Гэты тып семінара не павінен перавышаць 25 ℃.
Празмерная вільготнасць выклікае больш праблем. Калі адносная вільготнасць перавышае 55%, кандэнсацыя ўтвараецца на сценцы астуджальнай вады. Калі гэта адбываецца ў дакладных прыладах або схемах, гэта можа выклікаць розныя аварыі. Калі адносная вільготнасць складае 50%, іржавее лёгка. Акрамя таго, калі вільготнасць занадта высокая, пыл, які прытрымліваецца паверхні крэмнію, будзе хімічна адсарбавацца на паверхні праз малекулы вады ў паветры, што цяжка выдаліць.
Чым вышэй адносная вільготнасць, тым складаней выдаліць адгезію. Аднак, калі адносная вільготнасць ніжэй за 30%, часціцы таксама лёгка адсарбуюцца на паверхні з -за дзеяння электрастатычнай сілы, і вялікая колькасць паўправадніковых прыбораў схільная да разбурэння. Аптымальны дыяпазон тэмператур для вытворчасці крэмнію складае 35-45%.
Ціск паветракантралявацьу чыстым пакоі
Для большасці чыстых прастор, каб прадухіліць уварванне знешняга забруджвання, неабходна падтрымліваць унутраны ціск (статычны ціск) вышэй, чым знешні ціск (статычны ціск). Падтрыманне розніцы ціску звычайна павінна адпавядаць наступным прынцыпам:
1. Ціск у чыстых прасторах павінен быць вышэй, чым у не чыстых прасторах.
2. Ціск у прасторах з высокім узроўнем чысціні павінен быць вышэй, чым у суседніх прасторах з нізкім узроўнем чысціні.
3. Дзверы паміж чыстымі пакоямі павінны быць адчынены ў памяшканнях з высокім узроўнем чысціні.
Падтрыманне розніцы ціску залежыць ад колькасці свежага паветра, які павінен мець магчымасць кампенсаваць уцечку паветра з разрыву пры гэтай розніцы ціску. Такім чынам, фізічным сэнсам розніцы ціску з'яўляецца супраціў уцечкі (або інфільтрацыі) паток паветра праз розныя прабелы ў чыстым памяшканні.
Час паведамлення: 21 ліпеня 201-2023