1. Характарыстыкі канструкцыі
З-за патрабаванняў функцыяналізацыі, мініяцюрызацыі, інтэграцыі і дакладнасці вырабаў з мікрасхемамі, патрабаванні да праектавання чыстых памяшканняў для вытворчасці і вытворчасці мікрасхем істотна адрозніваюцца ад патрабаванняў звычайных заводаў.
(1) Патрабаванні да чысціні: у асяроддзі вытворчасці чыпсаў прад'яўляюцца высокія патрабаванні да кантролю колькасці часціц паветра;
(2) Патрабаванні да герметычнасці: паменшыць структурныя зазоры і ўзмацніць герметычнасць шчылінных канструкцый, каб мінімізаваць уплыў уцечкі паветра або забруджвання;
(3) Патрабаванні да заводскай сістэмы: спецыяльныя сілавыя і электрамеханічныя сістэмы адпавядаюць патрэбам тэхналагічных машын, такіх як спецыяльныя газы, хімікаты, чыстыя сцёкавыя воды і г.д.;
(4) Патрабаванні да мікравібрацыі: апрацоўка стружкі патрабуе высокай дакладнасці, а таксама неабходна знізіць уздзеянне вібрацыі на абсталяванне;
(5) Патрабаванні да прасторы: план вытворчых памяшканняў просты, з выразна акрэсленымі функцыянальнымі падзеламі, схаванымі трубаправодамі і разумным размеркаваннем прасторы, што дазваляе гнутка абнаўляць вытворчыя працэсы і абсталяванне.
2. Фокус на будаўніцтве
(1). Скарачэнне тэрмінаў будаўніцтва. Згодна з законам Мура, шчыльнасць інтэграцыі мікрасхем будзе падвойвацца ў сярэднім кожныя 18-24 месяцы. З абнаўленнем і ітэрацыяй электроннай прадукцыі попыт на вытворчыя магутнасці таксама будзе абнаўляцца. З-за хуткага абнаўлення электроннай прадукцыі рэальны тэрмін службы чыстых электронных магутнасцей складае ўсяго 10-15 гадоў.
(2). Павышаныя патрабаванні да арганізацыі рэсурсаў. Электронныя чыстыя памяшканні, як правіла, маюць вялікі аб'ём будаўніцтва, сціслыя тэрміны будаўніцтва, цесна звязаныя працэсы, складаны абарот рэсурсаў і больш канцэнтраванае спажыванне асноўных матэрыялаў. Такая шчыльная арганізацыя рэсурсаў прыводзіць да высокага ціску на агульнае кіраванне планам і высокіх патрабаванняў да арганізацыі рэсурсаў. На этапе фундамента і асноўнага будаўніцтва гэта ў асноўным адлюстроўваецца ў рабочай сіле, сталёвых прутках, бетоне, матэрыялах каркаса, пад'ёмных механізмах і г.д.; на этапе электрамеханікі, аздаблення і ўстаноўкі абсталявання гэта ў асноўным адлюстроўваецца ў патрабаваннях да будаўнічай пляцоўкі, розных трубах і дапаможных матэрыялах для будаўнічай тэхнікі, спецыяльнай тэхніцы і г.д.
(3). Высокія патрабаванні да якасці будаўніцтва ў асноўным адлюстроўваюцца ў трох аспектах: роўнасці, герметычнасці і нізкай пылааддачы. Акрамя абароны дакладнага абсталявання ад пашкоджанняў навакольнага асяроддзя, знешніх вібрацый і рэзанансу навакольнага асяроддзя, не менш важная і стабільнасць самога абсталявання. Таму патрабаванне да роўнасці падлогі складае 2 мм/2 м. Забеспячэнне герметычнасці адыгрывае значную ролю ў падтрыманні перападу ціску паміж рознымі чыстымі зонамі і, такім чынам, у кантролі крыніц забруджвання. Строга кантралюйце ўборку чыстага памяшкання перад устаноўкай абсталявання для фільтрацыі і кандыцыянавання паветра, а таксама кантралюйце месцы, схільныя да пылу, падчас падрыхтоўкі да будаўніцтва і пасля ўстаноўкі.
(4) Высокія патрабаванні да кіравання і каардынацыі субпадрадаў. Працэс будаўніцтва электронных чыстых памяшканняў з'яўляецца складаным, высокаспецыялізаваным, у ім удзельнічае мноства спецыяльных субпадрадчыкаў і мае шырокі спектр перакрыжаваных аперацый паміж рознымі дысцыплінамі. Такім чынам, неабходна каардынаваць працэсы і рабочыя паверхні кожнай дысцыпліны, скараціць перакрыжаваныя аперацыі, разумець рэальныя патрэбы перадачы інтэрфейсаў паміж дысцыплінамі і добра каардынаваць і кіраваць генеральным падрадчыкам.
Час публікацыі: 22 верасня 2025 г.