Калі ў HEPA-фільтры і яго ўсталёўцы ёсць дэфекты, такія як невялікія адтуліны ў самым фільтры або малюсенькія расколіны, выкліканыя няправільнай устаноўкай, жаданы эфект ачысткі не будзе дасягнуты. Таму пасля ўсталёўкі або замены HEPA-фільтра неабходна правесці праверку на герметычнасць фільтра і злучэнняў.
1. Мэта і аб'ём выяўлення ўцечак:
Мэта выяўлення: шляхам праверкі герметычнасці HEPA-фільтра выявіць дэфекты HEPA-фільтра і яго ўстаноўкі, каб прыняць меры па іх ліквідацыі.
Дыяпазон выяўлення: чыстая зона, працоўны стол з ламінарным патокам і HEPA-фільтр на абсталяванні і г.д.
2. Метад выяўлення ўцечак:
Найбольш распаўсюджаным метадам з'яўляецца метад DOP для выяўлення ўцечак (гэта значыць выкарыстанне растваральніка DOP у якасці крыніцы пылу і праца з аэразольным фотаметрам для выяўлення ўцечкі). Метад сканавання з лічыльнікам часціц пылу таксама можа быць выкарыстаны для выяўлення ўцечак (гэта значыць выкарыстанне атмасфернага пылу ў якасці крыніцы пылу і праца з лічыльнікам часціц для выяўлення ўцечак).
Аднак, паколькі паказанні лічыльніка часціц з'яўляюцца сукупнымі, яны не спрыяюць сканаванню, і хуткасць праверкі павольная; акрамя таго, на наветраным баку правяраемага HEPA-фільтра канцэнтрацыя атмасфернага пылу часта нізкая, і для лёгкага выяўлення ўцечак патрабуецца дадатковы дым. Для выяўлення ўцечак выкарыстоўваецца метад лічыльніка часціц. Метад DOP можа толькі кампенсаваць гэтыя недахопы, таму зараз метад DOP шырока выкарыстоўваецца для выяўлення ўцечак.
3. Прынцып працы метаду выяўлення ўцечак DOP:
Аэразоль DOP выкідваецца ў якасці крыніцы пылу на наветраным баку высокаэфектыўнага фільтра, які тэстуецца (DOP — гэта дыяктылфталат, малекулярная маса 390,57, часціцы пасля распылення маюць сферычную форму).
Для адбору проб з наветранага боку выкарыстоўваецца аэразольны фотаметр. Сабраныя пробы паветра праходзяць праз дыфузійную камеру фотаметра. Рассеянае святло, якое генеруецца пылазмяшчальным газам, які праходзіць праз фотаметр, пераўтвараецца ў электрычнасць дзякуючы фотаэлектрычнаму эфекту і лінейнаму ўзмацненню і хутка адлюстроўваецца мікраамперметрам, які дазваляе вымераць адносную канцэнтрацыю аэразоля. Тэст DOP насамрэч вымярае хуткасць пранікнення HEPA-фільтра.
Генератар DOP — гэта прылада, якая генеруе дым. Пасля таго, як растваральнік DOP заліваецца ў кантэйнер генератара, аэразольны дым утвараецца пад пэўным ціскам або ўмовах нагрэву і накіроўваецца на наветраны бок высокаэфектыўнага фільтра (вадкі DOP награваецца, утвараючы пару DOP, і пара награваецца ў пэўных умовах, кандэнсуючы ў драбнюткія кроплі пры пэўных умовах, выдаляючы занадта вялікія і занадта дробныя кроплі, пакідаючы толькі часціцы памерам каля 0,3 мкм, і туманны DOP трапляе ў паветравод);
Аэразольныя фотаметры (прыборы для вымярэння і адлюстравання канцэнтрацый аэразоляў павінны паказваць тэрмін дзеяння каліброўкі і могуць выкарыстоўвацца толькі ў тым выпадку, калі яны прайшлі каліброўку і знаходзяцца ў межах тэрміну дзеяння);
4. Працоўная працэдура тэсту на выяўленне ўцечак:
(1). Падрыхтоўка да выяўлення ўцечак
Падрыхтуйце абсталяванне, неабходнае для выяўлення ўцечак, і план паверха паветравода сістэмы ачысткі і кандыцыянавання паветра ў зоне, якая падлягае праверцы, і паведаміце кампаніі па ачыстцы і кандыцыянаванні паветра, каб яна была на месцы ў дзень выяўлення ўцечкі для выканання такіх аперацый, як нанясенне клею і замена HEPA-фільтраў.
(2). Аперацыя выяўлення ўцечак
①Праверце, ці ўзровень вадкасці DOP-растваральніка ў аэразольным генератары вышэй за ніжні ўзровень, калі яго недастаткова, яго варта дадаць.
②Падключыце балон з азотам да генератара аэразоля, уключыце тэмпературны перамыкач генератара аэразоля і пачакайце, пакуль чырвонае святло не зменіцца на зялёнае, што азначае дасягненне патрэбнай тэмпературы (каля 390~420℃).
③Падключыце адзін канец выпрабавальнага шланга да вымяральнага порта канцэнтрацыі аэразольнага фотаметра, а другі канец — да ўваходу паветра (з боку, размешчанага вышэй па плыні) правяраемага HEPA-фільтра. Уключыце перамыкач фотаметра і ўсталюйце выпрабавальнае значэнне на «100».
④Уключыце выключальнік азоту, усталюйце ціск на ўзроўні 0,05~0,15 МПа, павольна адкрыйце алейны клапан генератара аэразоля, усталюйце тэставае значэнне фотаметра на ўзроўні 10~20 і ўвядзіце вымераную канцэнтрацыю вышэй па плыні пасля стабілізацыі тэставага значэння. Выканайце наступныя аперацыі сканавання і праверкі.
⑤ Падключыце адзін канец вымяральнага шланга да вымяральнага порта канцэнтрацыі аэразольнага фотаметра, а другім канцом, галоўкай для адбору проб, скануйце бок выхаду паветра з фільтра і кранштэйна. Адлегласць паміж галоўкай для адбору проб і фільтрам складае каля 3-5 см, сканаванне ажыццяўляецца ўздоўж унутранай рамкі фільтра, а хуткасць праверкі не перавышае 5 см/с.
Аб'ём выпрабаванняў уключае праверку матэрыялу фільтра, злучэння паміж матэрыялам фільтра і яго рамай, злучэння паміж пракладкай рамы фільтра і апорнай рамай групы фільтраў, злучэння паміж апорнай рамай і сцяной або столлю для праверкі фільтруючага матэрыялу на наяўнасць дробных адтулін і іншых пашкоджанняў у фільтры, ушчыльненняў рамы, ушчыльненняў пракладкі і ўцечак у рамцы фільтра.
Руціннае выяўленне ўцечак HEPA-фільтраў у чыстых зонах класа вышэй за 10000 звычайна праводзіцца адзін раз на год (раз на паўгода ў стэрыльных зонах); калі пры штодзённым маніторынгу чыстых зон назіраюцца значныя адхіленні ў колькасці пылавых часціц, седыментацыйных бактэрый і хуткасці паветра, таксама варта праводзіць выяўленне ўцечак.
Час публікацыі: 7 верасня 2023 г.