У дадатак да строгага кантролю часціц электронныя чыстыя пакоі, прадстаўленыя цэхамі па вытворчасці чыпаў, цэхамі па вытворчасці інтэгральных схем без пылу і цэхамі па вытворчасці дыскаў, таксама маюць больш жорсткія патрабаванні да кантролю тэмпературы і вільготнасці, асвятлення і мікраўдараў. Строга выдаляйце ўздзеянне статычнай электрычнасці на вытворчую прадукцыю, каб навакольнае асяроддзе магло адпавядаць патрабаванням вытворчага працэсу электронных прадуктаў у чыстым асяроддзі.
Тэмпература і вільготнасць электроннага чыстага памяшкання павінны вызначацца ў адпаведнасці з патрабаваннямі вытворчага працэсу. Пры адсутнасці асаблівых патрабаванняў да вытворчага працэсу тэмпература можа быць 20-26°C і адносная вільготнасць 30%-70%. Тэмпература ў чыстых памяшканнях для персаналу і ў жылых памяшканнях можа быць 16-28 ℃. У адпаведнасці з кітайскім нацыянальным стандартам GB-50073, які адпавядае міжнародным стандартам ISO, узровень чысціні гэтага тыпу чыстых памяшканняў складае 1-9. Сярод іх, класы 1-5, схема паветранага патоку аднанакіраваная або змешаная; клас 6 схема паветранага патоку - неаднанакіраваны паток і паветраабмен складае 50-60 раз у гадзіну; тып паветранага патоку класа 7 - неаднанакіраваны паток, а змяненне паветра - 15-25 раз у гадзіну; клас 8-9 тып паветранага патоку - неаднанакіраваны паток, паветраабмена 10-15 раз у гадзіну.
Згодна з сучаснымі спецыфікацыямі, узровень шуму ў электронных чыстых памяшканнях класа 10 000 не павінен перавышаць 65 дБ(А).
1. Поўны каэфіцыент вертыкальнага патоку чыстага памяшкання ў электронным чыстым памяшканні не павінен быць меншым за 60%, а гарызантальны аднанакіраваны паток чыстага памяшкання не павінен быць меншым за 40%, інакш гэта будзе частковы аднанакіраваны паток.
2. Розніца статычнага ціску паміж электронным чыстым памяшканнем і на вуліцы не павінна быць меншай за 10 Па, а розніца статычнага ціску паміж чыстымі і нечыстымі зонамі з рознай чысцінёй паветра не павінна быць меншай за 5 Па.
3. Колькасць свежага паветра ў электронным чыстым памяшканні класа 10000 павінна прымаць значэнне наступных двух элементаў.
4. Кампенсуйце сумарны аб'ём адпрацаванага паветра ў памяшканні і аб'ём свежага паветра, неабходных для падтрымання значэння станоўчага ціску ў памяшканні.
5. Сачыце за тым, каб колькасць свежага паветра, якое паступае ў чыстае памяшканне на чалавека ў гадзіну, складала не менш за 40 кв.
Час публікацыі: 8 красавіка 2024 г